Beam optics optimization of a negative-ion sputter source
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[F Osswald, R Rebmeister]
Ort, Verlag, Jahr:
2002
Enthalten in:
Pramana, 59/5(2002-11-01), 795-804
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: