Photoresists for microlithography

1. Role of organic chemistry in microelectronics

Verfasser / Beitragende:
[Debmalya Roy, P. Basu, S. Eswaran]
Ort, Verlag, Jahr:
2002
Enthalten in:
Resonance, 7/7(2002-07-01), 44-53
Format:
Artikel (online)
ID: 471143073