Photoresists for microlithography

2. The role of polymer microstructure

Verfasser / Beitragende:
[Debmalya Roy, P. Basu, S. Eswaran]
Ort, Verlag, Jahr:
2002
Enthalten in:
Resonance, 7/8(2002-08-01), 59-66
Format:
Artikel (online)
ID: 471143685