Effects of alloying elements on cobalt silicide formation
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[C. Lavoie, C. Cabral Jr., F. d'Heurle, J. Jordan-Sweet, J. Harper]
Ort, Verlag, Jahr:
2002
Enthalten in:
Journal of Electronic Materials, 31/6(2002-06-01), 597-609
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: