Effect of photoresist-feature geometry on electron-cyclotron resonance plasma-etch reticulation of HgCdTe diodes
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[J. Benson, A. Stoltz, A. Kaleczyc, M. Martinka, L. Almeida, P. Boyd, J. Dinan]
Ort, Verlag, Jahr:
2002
Enthalten in:
Journal of Electronic Materials, 31/7(2002-07-01), 822-826
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: