Micro-raman study of the damage in nanopatterned GaAs(001)

Verfasser / Beitragende:
[K. Eyink, L. Grazulis, J. Reber, J. Busbee]
Ort, Verlag, Jahr:
2002
Enthalten in:
Journal of Electronic Materials, 31/10(2002-10-01), 1112-1116
Format:
Artikel (online)
ID: 471148067