Transient-enhanced diffusion in shallow-junction formation
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[A. Fiory, S. Chawda, S. Madishetty, V. Mehta, N. Ravindra, S. Mccoy, M. Lefrançois, K. Bourdelle, J. Mckinley, H. Gossmann, A. Agarwal]
Ort, Verlag, Jahr:
2002
Enthalten in:
Journal of Electronic Materials, 31/10(2002-10-01), 999-1003
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: