Control of chlorine inductively coupled plasma using optical-emission spectroscopy

Verfasser / Beitragende:
[R. Young, T. Scott, K. Prisbrey]
Ort, Verlag, Jahr:
2002
Enthalten in:
Journal of Electronic Materials, 31/10(2002-10-01), 994-998
Format:
Artikel (online)
ID: 47114813X