Pad effects on material-removal rate in chemical-mechanical planarization
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[Ashraf Bastawros, Abhijit Chandra, Yongjin Guo, Bo Yan]
Ort, Verlag, Jahr:
2002
Enthalten in:
Journal of Electronic Materials, 31/10(2002-10-01), 1022-1031
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: