Improvement of form accuracy in hybrid machining of microstructures
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[H. Lim, A. Kumar, M. Rahman]
Ort, Verlag, Jahr:
2002
Enthalten in:
Journal of Electronic Materials, 31/10(2002-10-01), 1032-1038
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: