Fixed-angle, energy-dispersive x-ray reflectivity measurement of thin tantalum film thickness
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[D. Windover, E. Barnat, J. Summers, T. Lu, A. Kumar, H. Bakhru, S. Lee]
Ort, Verlag, Jahr:
2002
Enthalten in:
Journal of Electronic Materials, 31/8(2002-08-01), 848-856
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: