The role of nucleation and heteroepitaxial processes in nanostructuring of Si
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[E. Guliants, C. Ji, W. Anderson]
Ort, Verlag, Jahr:
2002
Enthalten in:
Journal of Electronic Materials, 31/5(2002-05-01), 466-471
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: