Surface morphology of 6H-SiC after thermal diffusion

Verfasser / Beitragende:
[Ying Gao, S. Soloviev, T. Sudarshan]
Ort, Verlag, Jahr:
2002
Enthalten in:
Journal of Electronic Materials, 31/5(2002-05-01), 376-379
Format:
Artikel (online)
ID: 471148776