A new microtensile tester for the study of MEMS materials with the aid of atomic force microscopy
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[Ioannis Chasiotis, Wolfgang Knauss]
Ort, Verlag, Jahr:
2002
Enthalten in:
Experimental Mechanics, 42/1(2002-03-01), 51-57
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: