naa a22 4500 510817467 CHVBK 20180411083515.0 cr unu---uuuuu 180411e20130601xx s 000 0 eng 10.1007/s11468-013-9533-y doi (NATIONALLICENCE)springer-10.1007/s11468-013-9533-y Substrate Mode-Integrated SPR Sensor [Elektronische Daten] [C. Lenaerts, J-P. Vilcot, J. Hastanin, B. Pinchemel, S. Maricot, S. Habraken, N. Maalouli, E. Wijaya, M. Bouazaoui, J. Hottin, C. Desfours, K. Fleury-Frenette] We present the design, implementation and characterisation of an integrated surface plasmon resonance (SPR) biosensor chip involving diffractive optical coupling elements avoiding the need of prism coupling. The integrated sensor chip uses the angular interrogation principle and includes two diffraction gratings and the SPR sensing zone. The theoretical design is presented as well as the fabrication process. Experimental results (response of a reference water droplet and phosphate-buffered saline/water kinetic) are presented and compared with those obtained with the classical Kretschmann prism coupling setup. We believe that this prism-free architecture is perfectly suitable for low-cost and reproducible SPR biochemical sensor chips since the sensing zone can be functionalised as any other one. Springer Science+Business Media New York, 2013 Surface plasmon resonance nationallicence Grating coupler nationallicence Biochemical sensor nationallicence Integrated sensor nationallicence Lenaerts C. Centre Spatial de Liège, Université de Liège, Angleur, 4031, Liège, Belgium aut Vilcot J-P Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, UMR 8520, Université Lille1, Avenue Poincaré, BP 60069, 59652, Villeneuve d'Ascq cedex, France aut Hastanin J. Centre Spatial de Liège, Université de Liège, Angleur, 4031, Liège, Belgium aut Pinchemel B. Laboratoire de Physique des Lasers, Atomes et Molécules, UMR 8523, Université Lille1, Bâtiment P5, 59655, Villeneuve d'Ascq cedex, France aut Maricot S. Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, UMR 8520, Université Lille1, Avenue Poincaré, BP 60069, 59652, Villeneuve d'Ascq cedex, France aut Habraken S. Centre Spatial de Liège, Université de Liège, Angleur, 4031, Liège, Belgium aut Maalouli N. Laboratoire de Physique des Lasers, Atomes et Molécules, UMR 8523, Université Lille1, Bâtiment P5, 59655, Villeneuve d'Ascq cedex, France aut Wijaya E. Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, UMR 8520, Université Lille1, Avenue Poincaré, BP 60069, 59652, Villeneuve d'Ascq cedex, France aut Bouazaoui M. Laboratoire de Physique des Lasers, Atomes et Molécules, UMR 8523, Université Lille1, Bâtiment P5, 59655, Villeneuve d'Ascq cedex, France aut Hottin J. Laboratoire de Physique des Lasers, Atomes et Molécules, UMR 8523, Université Lille1, Bâtiment P5, 59655, Villeneuve d'Ascq cedex, France aut Desfours C. Physics Department, Université de Liège, HoloLab, 4000, Liège, Belgium aut Fleury-Frenette K. Centre Spatial de Liège, Université de Liège, Angleur, 4031, Liège, Belgium aut Plasmonics Springer US; http://www.springer-ny.com 8/2(2013-06-01), 1203-1208 1557-1955 8:2<1203 2013 8 11468 https://doi.org/10.1007/s11468-013-9533-y text/html Onlinezugriff via DOI 1 research-article jats NATIONALLICENCE 856 40 https://doi.org/10.1007/s11468-013-9533-y text/html Onlinezugriff via DOI NATIONALLICENCE 700 1- Lenaerts C. Centre Spatial de Liège, Université de Liège, Angleur, 4031, Liège, Belgium aut NATIONALLICENCE 700 1- Vilcot J-P Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, UMR 8520, Université Lille1, Avenue Poincaré, BP 60069, 59652, Villeneuve d'Ascq cedex, France aut NATIONALLICENCE 700 1- Hastanin J. Centre Spatial de Liège, Université de Liège, Angleur, 4031, Liège, Belgium aut NATIONALLICENCE 700 1- Pinchemel B. Laboratoire de Physique des Lasers, Atomes et Molécules, UMR 8523, Université Lille1, Bâtiment P5, 59655, Villeneuve d'Ascq cedex, France aut NATIONALLICENCE 700 1- Maricot S. Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, UMR 8520, Université Lille1, Avenue Poincaré, BP 60069, 59652, Villeneuve d'Ascq cedex, France aut NATIONALLICENCE 700 1- Habraken S. Centre Spatial de Liège, Université de Liège, Angleur, 4031, Liège, Belgium aut NATIONALLICENCE 700 1- Maalouli N. Laboratoire de Physique des Lasers, Atomes et Molécules, UMR 8523, Université Lille1, Bâtiment P5, 59655, Villeneuve d'Ascq cedex, France aut NATIONALLICENCE 700 1- Wijaya E. Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, UMR 8520, Université Lille1, Avenue Poincaré, BP 60069, 59652, Villeneuve d'Ascq cedex, France aut NATIONALLICENCE 700 1- Bouazaoui M. Laboratoire de Physique des Lasers, Atomes et Molécules, UMR 8523, Université Lille1, Bâtiment P5, 59655, Villeneuve d'Ascq cedex, France aut NATIONALLICENCE 700 1- Hottin J. Laboratoire de Physique des Lasers, Atomes et Molécules, UMR 8523, Université Lille1, Bâtiment P5, 59655, Villeneuve d'Ascq cedex, France aut NATIONALLICENCE 700 1- Desfours C. Physics Department, Université de Liège, HoloLab, 4000, Liège, Belgium aut NATIONALLICENCE 700 1- Fleury-Frenette K. Centre Spatial de Liège, Université de Liège, Angleur, 4031, Liège, Belgium aut NATIONALLICENCE 773 0- Plasmonics Springer US; http://www.springer-ny.com 8/2(2013-06-01), 1203-1208 1557-1955 8:2<1203 2013 8 11468 Metadata rights reserved Springer special CC-BY-NC licence nationallicence BK010053 XK010053 XK010000 NATIONALLICENCE NATIONALLICENCE NL-springer