<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim">
 <record>
  <leader>     cam a22        4500</leader>
  <controlfield tag="001">528979345</controlfield>
  <controlfield tag="003">CHVBK</controlfield>
  <controlfield tag="005">20201017113532.0</controlfield>
  <controlfield tag="006">m        d        </controlfield>
  <controlfield tag="007">cr |n ||||||||</controlfield>
  <controlfield tag="008">180926s2010    ne a    sb    001 0 eng d</controlfield>
  <datafield tag="015" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">GBA9-87506</subfield>
   <subfield code="2">bnb</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="020" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">978-0-8155-2031-3 (hbk.)</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="020" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">0-8155-2031-X (hbk.)</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(SERSOL)ssj0000386336</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(NEBIS)009868601</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(WaSeSS)ssj0000386336</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(OCoLC)435734867</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="040" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">CaPaEBR</subfield>
   <subfield code="c">CaPaEBR</subfield>
   <subfield code="d">WaSeSS</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="050" ind1="1" ind2="4">
   <subfield code="a">TP156.C57</subfield>
   <subfield code="b">H36 2010eb</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="082" ind1="0" ind2="4">
   <subfield code="a">667.9</subfield>
   <subfield code="2">22</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="245" ind1="0" ind2="0">
   <subfield code="a">Handbook of deposition technologies for films and coatings</subfield>
   <subfield code="h">[Elektronische Daten]</subfield>
   <subfield code="b">science, applications and technology</subfield>
   <subfield code="c">edited by Peter M. Martin</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="250" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">3rd ed.</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="260" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">Amsterdam</subfield>
   <subfield code="a">Boston</subfield>
   <subfield code="b">Elsevier / WA</subfield>
   <subfield code="c">c2010</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="300" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">1 online resource (xviii, 912 p.)</subfield>
   <subfield code="b">ill</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="504" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">Includes bibliographical references and index.</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="506" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">Lizenzbedingungen können den Zugang einschränken. License restrictions may limit access.</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="0">
   <subfield code="a">Coatings</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="0">
   <subfield code="a">Coating processes</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">ANGEWANDTE PLASMAPHYSIK</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000041852</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">CHEMISCHE BESCHICHTUNGEN AUS DER GASPHASE, CVD (PRODUKTIONSTECHNIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000058906</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">EIGENSCHAFTEN DÜNNER SCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000015672</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">PLATTIEREN DURCH CHEMISCHEN NIEDERSCHLAG (PRODUKTIONSTECHNIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000029165</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">WERKSTOFFBESCHICHTUNGEN</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000062539</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">WERKSTOFFBESCHICHTUNGEN</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">620.22,41</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">CHEMISCHE BESCHICHTUNGEN AUS DER GASPHASE, CVD (PRODUKTIONSTECHNIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">621.794.6,1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">ANGEWANDTE PLASMAPHYSIK</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">533.9,1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">PLATTIEREN DURCH CHEMISCHEN NIEDERSCHLAG (PRODUKTIONSTECHNIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">621.793.16</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">EIGENSCHAFTEN DÜNNER SCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">539.216.2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">REVÊTEMENTS DE MATÉRIAUX</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">620.22,41</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">MATERIALS COATINGS</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">620.22,41</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, CVD (PRODUCTION ENGINEERING)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">621.794.6,1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, CVD (TECHNIQUE DE LA FABRICATION)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">621.794.6,1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">APPLIED PLASMA PHYSICS</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">533.9,1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">APPLICATIONS DE LA PHYSIQUE DES PLASMAS</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">533.9,1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">PLATING BY CHEMICAL DEPOSITION (PRODUCTION ENGINEERING)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">621.793.16</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">PLACAGE PAR DÉPÔT CHIMIQUE (TECHNIQUE DE LA FABRICATION)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">621.793.16</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">PROPERTIES OF THIN LAYERS (PHYSICS OF MOLECULAR SYSTEMS)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">539.216.2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">PROPRIÉTÉS DES COUCHES MINCES (PHYSIQUE DES SYSTÈMES MOLÉCULAIRES)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">539.216.2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="700" ind1="1" ind2=" ">
   <subfield code="a">Martin</subfield>
   <subfield code="D">Peter M.</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="710" ind1="2" ind2=" ">
   <subfield code="a">ebrary, Inc.</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="856" ind1="4" ind2="0">
   <subfield code="u">https://ebookcentral.proquest.com/lib/unibern/detail.action?docID=566654</subfield>
   <subfield code="z">Uni Bern: Volltext</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="898" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">BK020053</subfield>
   <subfield code="b">XK020053</subfield>
   <subfield code="c">XK020000</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="909" ind1=" " ind2="4">
   <subfield code="f">Ebook Central All Subscribed Titles</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="909" ind1=" " ind2="4">
   <subfield code="a">E-Books von 360MarcUpdates</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="909" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">EText</subfield>
   <subfield code="2">nebis ED</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="909" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">E01-Elsevier</subfield>
   <subfield code="2">nebis ER</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="909" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">noalma</subfield>
   <subfield code="2">ids I</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="912" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">160</subfield>
   <subfield code="2">E01-20100222</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="949" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="F">E01</subfield>
   <subfield code="b">E01</subfield>
   <subfield code="c">EL</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="949" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">IDSBB</subfield>
   <subfield code="F">B405</subfield>
   <subfield code="b">B405</subfield>
   <subfield code="c">405VT</subfield>
   <subfield code="x">NELB4051809</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">IDSBB</subfield>
   <subfield code="P">700</subfield>
   <subfield code="E">1-</subfield>
   <subfield code="a">Martin</subfield>
   <subfield code="D">Peter M.</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">IDSBB</subfield>
   <subfield code="P">710</subfield>
   <subfield code="E">2-</subfield>
   <subfield code="a">ebrary, Inc</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">IDSBB</subfield>
   <subfield code="P">856</subfield>
   <subfield code="E">40</subfield>
   <subfield code="u">https://ebookcentral.proquest.com/lib/unibern/detail.action?docID=566654</subfield>
   <subfield code="z">Uni Bern: Volltext</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">700</subfield>
   <subfield code="E">1-</subfield>
   <subfield code="a">Martin</subfield>
   <subfield code="D">Peter M.</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">856</subfield>
   <subfield code="E">--</subfield>
   <subfield code="u">http://sfx.ethz.ch/sfx_locater?sid=ALEPH:EBI01&amp;genre=book&amp;isbn=9780815520313&amp;rft.local_attribute=esd</subfield>
   <subfield code="z">Online via SFX</subfield>
   <subfield code="3">Volltext</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="986" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">SWISSBIB</subfield>
   <subfield code="b">169562484</subfield>
  </datafield>
 </record>
</collection>
