SiGe/Si epitaxy and wafer bonding applied to X-ray detectors

Verfasser / Beitragende:
presented by Arik Sebastian Jung
Ort, Verlag, Jahr:
Zurich : 2018
Beschreibung:
VI, 93 Seiten : Illustrationen ; 21 cm
Format:
Buch (Hochschulschrift)
ID: 529001179
LEADER cam a22 4 4500
001 529001179
003 CHVBK
005 20201202100920.0
008 180926s2018 sz a m 00 0deng d
024 7 |a urn:nbn:ch:bel-1613834  |2 urn 
035 |a (SNL)991017734539703976 
035 |a (SNL)991018075289203976 
035 |a (NEBIS)011256031 
035 |a (Sz)1952037-41snl_51 
035 |a (Sz)vtls001952037 
035 |a (Sz)001952037 
035 |a (Sz)991018075289203976 
040 |a Sz  |b ger  |e rda 
041 0 |a eng  |b eng  |b ger 
082 7 4 |a 530  |2 23sdnb 
082 7 4 |a 621.3  |2 23sdnb 
100 1 |a Jung  |D Arik Sebastian  |d 1990-  |0 (DE-588)1163962260  |e Verfasser  |4 aut 
245 1 0 |a SiGe/Si epitaxy and wafer bonding applied to X-ray detectors  |c presented by Arik Sebastian Jung 
264 1 |a Zurich  |c 2018 
300 |a VI, 93 Seiten  |b Illustrationen  |c 21 cm 
502 |b Dissertation  |o No. 25044  |c ETH Zurich,  |d 2018 
504 |a Literaturverzeichnis 
516 |a application/pdf 
546 |a Englischer Text mit englischer und deutscher Zusammenfassung 
650 7 |a EPITAXIALSCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN)  |x ger  |0 (ETHUDK)000015688  |2 ethudk 
650 7 |a MESSTECHNISCHE SONDEN, SENSOREN, DETEKTOREN (PHYSIK)  |x ger  |0 (ETHUDK)000014246  |2 ethudk 
650 7 |a RÖNTGENSTRAHLEN (OPTIK)  |x ger  |0 (ETHUDK)000014791  |2 ethudk 
650 7 |a SILICIUM-GERMANIUM-VERBINDUNGEN (ANORGANISCHE CHEMIE)  |x ger  |0 (ETHUDK)000037099  |2 ethudk 
650 7 |a WAFER (MIKROELEKTRONIK)  |x ger  |0 (ETHUDK)000028650  |2 ethudk 
655 7 |a Hochschulschrift  |0 (DE-588)4113937-9  |2 gnd-content 
655 7 |a Hochschulschrift  |2 gnd-content 
691 7 |a sb  |b 2018/21  |c 530  |k zh  |2 snl-sb 
691 7 |a xehelv  |b xediss  |c 2020  |d 621.3  |2 snl ehelv 
691 7 |B u  |a RÖNTGENSTRAHLEN (OPTIK)  |z ger  |u 535-34  |2 nebis E1 
691 7 |B u  |a MESSTECHNISCHE SONDEN, SENSOREN, DETEKTOREN (PHYSIK)  |z ger  |u 53.084.2  |2 nebis E1 
691 7 |B u  |a WAFER (MIKROELEKTRONIK)  |z ger  |u 621.3.049.771,22  |2 nebis E1 
691 7 |B u  |a EPITAXIALSCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN)  |z ger  |u 539.234  |2 nebis E1 
691 7 |B u  |a SILICIUM-GERMANIUM-VERBINDUNGEN (ANORGANISCHE CHEMIE)  |z ger  |u 546.28'289  |2 nebis E1 
691 7 |B u  |a X-RAYS (OPTICS)  |z eng  |u 535-34  |2 nebis E1 
691 7 |B u  |a RAYONS X (OPTIQUE)  |z fre  |u 535-34  |2 nebis E1 
691 7 |B u  |a MEASURING DEVICES, SENSORS, DETECTORS (PHYSICS)  |z eng  |u 53.084.2  |2 nebis E1 
691 7 |B u  |a CAPTEURS, SENSEURS, DÉTECTEURS (PHYSIQUE)  |z fre  |u 53.084.2  |2 nebis E1 
691 7 |B u  |a WAFER (MICROELECTRONICS)  |z eng  |u 621.3.049.771,22  |2 nebis E1 
691 7 |B u  |a WAFER (MICROÉLECTRONIQUE)  |z fre  |u 621.3.049.771,22  |2 nebis E1 
691 7 |B u  |a THIN LAYER FORMATION BY VAPORIZATION AND CONDENSATION (PHYSICS OF MOLECULAR SYSTEMS)  |z eng  |u 539.234  |2 nebis E1 
691 7 |B u  |a COUCHES ÉPITAXIALES (PHYSIQUE DES SYSTÈMES MOLÉCULAIRES)  |z fre  |u 539.234  |2 nebis E1 
691 7 |B u  |a SILICIUM-GERMANIUM/COMPOSÉS (CHIMIE INORGANIQUE)  |z fre  |u 546.28'289  |2 nebis E1 
691 7 |B u  |a SILICON-GERMANIUM COMPOUNDS (INORGANIC CHEMISTRY)  |z eng  |u 546.28'289  |2 nebis E1 
710 2 |a Eidgenössische Technische Hochschule Zürich  |0 (DE-588)2023928-2  |e Grad-verleihende Institution  |4 dgg 
852 4 |B SNL  |F NB001  |b NB999  |j -  |c chb99  |a - 
856 4 1 |u https://opac.admin.ch/toc/toc1902038569.pdf  |y Inhaltsverzeichnis 
898 |a BK020300  |b XK020000  |c XK020000 
912 7 |a 055  |2 E01-20180813 
912 7 |a 056  |2 E01-20180813 
949 |B SNL  |F NB001  |b NB001  |j Nb 207513  |c NB10010 
949 |B NEBIS  |F E16  |b E16  |c RH  |j Diss ETH 25044 
950 |B SNL  |P 100  |E 1-  |a Jung  |D Arik Sebastian  |d 1990-  |0 (DE-588)1163962260  |e Verfasser  |4 aut 
950 |B SNL  |P 856  |E 41  |u https://opac.admin.ch/toc/toc1902038569.pdf  |y Inhaltsverzeichnis 
950 |B SNL  |P 710  |E 2-  |a Eidgenössische Technische Hochschule Zürich  |0 (DE-588)2023928-2  |e Grad-verleihende Institution  |4 dgg 
950 |B SNL  |P 100  |E 1-  |a Jung  |D Arik S.  |e Verfasser  |4 aut 
950 |B SNL  |P 856  |E 40  |u http://hdl.handle.net/20.500.11850/275347 
950 |B SNL  |P 856  |E 4-  |u https://nbn-resolving.org/urn:nbn:ch:bel-1613834 
950 |B SNL  |P 856  |E 42  |u http://www.e-helvetica.nb.admin.ch/directAccess?callnumber=bel-1613834 
950 |B NEBIS  |P 100  |E 1-  |a Jung  |D Arik Sebastian  |d 1990-  |0 (DE-588)1163962260  |e Verfasser  |4 aut 
950 |B NEBIS  |P 700  |E 1-  |a Bona  |D Gian-Luca  |d 1957-  |0 (DE-588)1089592310  |e Akademischer Betreuer  |4 dgs 
950 |B NEBIS  |P 700  |E 1-  |a Schröder  |D Thomas  |e Akademischer Betreuer  |4 dgs