<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim">
 <record>
  <leader>     cam a22     4  4500</leader>
  <controlfield tag="001">529001179</controlfield>
  <controlfield tag="003">CHVBK</controlfield>
  <controlfield tag="005">20201202100920.0</controlfield>
  <controlfield tag="008">180926s2018    sz a     m    00  0deng d</controlfield>
  <datafield tag="024" ind1="7" ind2=" ">
   <subfield code="a">urn:nbn:ch:bel-1613834</subfield>
   <subfield code="2">urn</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(SNL)991017734539703976</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(SNL)991018075289203976</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(NEBIS)011256031</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(Sz)1952037-41snl_51</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(Sz)vtls001952037</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(Sz)001952037</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(Sz)991018075289203976</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="040" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">Sz</subfield>
   <subfield code="b">ger</subfield>
   <subfield code="e">rda</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="041" ind1="0" ind2=" ">
   <subfield code="a">eng</subfield>
   <subfield code="b">eng</subfield>
   <subfield code="b">ger</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="082" ind1="7" ind2="4">
   <subfield code="a">530</subfield>
   <subfield code="2">23sdnb</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="082" ind1="7" ind2="4">
   <subfield code="a">621.3</subfield>
   <subfield code="2">23sdnb</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="100" ind1="1" ind2=" ">
   <subfield code="a">Jung</subfield>
   <subfield code="D">Arik Sebastian</subfield>
   <subfield code="d">1990-</subfield>
   <subfield code="0">(DE-588)1163962260</subfield>
   <subfield code="e">Verfasser</subfield>
   <subfield code="4">aut</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="245" ind1="1" ind2="0">
   <subfield code="a">SiGe/Si epitaxy and wafer bonding applied to X-ray detectors</subfield>
   <subfield code="c">presented by Arik Sebastian Jung</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="264" ind1=" " ind2="1">
   <subfield code="a">Zurich</subfield>
   <subfield code="c">2018</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="300" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">VI, 93 Seiten</subfield>
   <subfield code="b">Illustrationen</subfield>
   <subfield code="c">21 cm</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="502" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="b">Dissertation</subfield>
   <subfield code="o">No. 25044</subfield>
   <subfield code="c">ETH Zurich,</subfield>
   <subfield code="d">2018</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="504" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">Literaturverzeichnis</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="516" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">application/pdf</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="546" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">Englischer Text mit englischer und deutscher Zusammenfassung</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">EPITAXIALSCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000015688</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">MESSTECHNISCHE SONDEN, SENSOREN, DETEKTOREN (PHYSIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000014246</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">RÖNTGENSTRAHLEN (OPTIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000014791</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">SILICIUM-GERMANIUM-VERBINDUNGEN (ANORGANISCHE CHEMIE)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000037099</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">WAFER (MIKROELEKTRONIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000028650</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="655" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">Hochschulschrift</subfield>
   <subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield>
   <subfield code="2">gnd-content</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="655" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">Hochschulschrift</subfield>
   <subfield code="2">gnd-content</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">sb</subfield>
   <subfield code="b">2018/21</subfield>
   <subfield code="c">530</subfield>
   <subfield code="k">zh</subfield>
   <subfield code="2">snl-sb</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">xehelv</subfield>
   <subfield code="b">xediss</subfield>
   <subfield code="c">2020</subfield>
   <subfield code="d">621.3</subfield>
   <subfield code="2">snl ehelv</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">RÖNTGENSTRAHLEN (OPTIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">535-34</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">MESSTECHNISCHE SONDEN, SENSOREN, DETEKTOREN (PHYSIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">53.084.2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">WAFER (MIKROELEKTRONIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">621.3.049.771,22</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">EPITAXIALSCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">539.234</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">SILICIUM-GERMANIUM-VERBINDUNGEN (ANORGANISCHE CHEMIE)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">546.28'289</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">X-RAYS (OPTICS)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">535-34</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">RAYONS X (OPTIQUE)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">535-34</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">MEASURING DEVICES, SENSORS, DETECTORS (PHYSICS)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">53.084.2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">CAPTEURS, SENSEURS, DÉTECTEURS (PHYSIQUE)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">53.084.2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">WAFER (MICROELECTRONICS)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">621.3.049.771,22</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">WAFER (MICROÉLECTRONIQUE)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">621.3.049.771,22</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">THIN LAYER FORMATION BY VAPORIZATION AND CONDENSATION (PHYSICS OF MOLECULAR SYSTEMS)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">539.234</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">COUCHES ÉPITAXIALES (PHYSIQUE DES SYSTÈMES MOLÉCULAIRES)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">539.234</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">SILICIUM-GERMANIUM/COMPOSÉS (CHIMIE INORGANIQUE)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">546.28'289</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">SILICON-GERMANIUM COMPOUNDS (INORGANIC CHEMISTRY)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">546.28'289</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="710" ind1="2" ind2=" ">
   <subfield code="a">Eidgenössische Technische Hochschule Zürich</subfield>
   <subfield code="0">(DE-588)2023928-2</subfield>
   <subfield code="e">Grad-verleihende Institution</subfield>
   <subfield code="4">dgg</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="852" ind1="4" ind2=" ">
   <subfield code="B">SNL</subfield>
   <subfield code="F">NB001</subfield>
   <subfield code="b">NB999</subfield>
   <subfield code="j">-</subfield>
   <subfield code="c">chb99</subfield>
   <subfield code="a">-</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="856" ind1="4" ind2="1">
   <subfield code="u">https://opac.admin.ch/toc/toc1902038569.pdf</subfield>
   <subfield code="y">Inhaltsverzeichnis</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="898" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">BK020300</subfield>
   <subfield code="b">XK020000</subfield>
   <subfield code="c">XK020000</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="912" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">055</subfield>
   <subfield code="2">E01-20180813</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="912" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">056</subfield>
   <subfield code="2">E01-20180813</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="949" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">SNL</subfield>
   <subfield code="F">NB001</subfield>
   <subfield code="b">NB001</subfield>
   <subfield code="j">Nb 207513</subfield>
   <subfield code="c">NB10010</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="949" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="F">E16</subfield>
   <subfield code="b">E16</subfield>
   <subfield code="c">RH</subfield>
   <subfield code="j">Diss ETH 25044</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">SNL</subfield>
   <subfield code="P">100</subfield>
   <subfield code="E">1-</subfield>
   <subfield code="a">Jung</subfield>
   <subfield code="D">Arik Sebastian</subfield>
   <subfield code="d">1990-</subfield>
   <subfield code="0">(DE-588)1163962260</subfield>
   <subfield code="e">Verfasser</subfield>
   <subfield code="4">aut</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">SNL</subfield>
   <subfield code="P">856</subfield>
   <subfield code="E">41</subfield>
   <subfield code="u">https://opac.admin.ch/toc/toc1902038569.pdf</subfield>
   <subfield code="y">Inhaltsverzeichnis</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">SNL</subfield>
   <subfield code="P">710</subfield>
   <subfield code="E">2-</subfield>
   <subfield code="a">Eidgenössische Technische Hochschule Zürich</subfield>
   <subfield code="0">(DE-588)2023928-2</subfield>
   <subfield code="e">Grad-verleihende Institution</subfield>
   <subfield code="4">dgg</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">SNL</subfield>
   <subfield code="P">100</subfield>
   <subfield code="E">1-</subfield>
   <subfield code="a">Jung</subfield>
   <subfield code="D">Arik S.</subfield>
   <subfield code="e">Verfasser</subfield>
   <subfield code="4">aut</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">SNL</subfield>
   <subfield code="P">856</subfield>
   <subfield code="E">40</subfield>
   <subfield code="u">http://hdl.handle.net/20.500.11850/275347</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">SNL</subfield>
   <subfield code="P">856</subfield>
   <subfield code="E">4-</subfield>
   <subfield code="u">https://nbn-resolving.org/urn:nbn:ch:bel-1613834</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">SNL</subfield>
   <subfield code="P">856</subfield>
   <subfield code="E">42</subfield>
   <subfield code="u">http://www.e-helvetica.nb.admin.ch/directAccess?callnumber=bel-1613834</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">100</subfield>
   <subfield code="E">1-</subfield>
   <subfield code="a">Jung</subfield>
   <subfield code="D">Arik Sebastian</subfield>
   <subfield code="d">1990-</subfield>
   <subfield code="0">(DE-588)1163962260</subfield>
   <subfield code="e">Verfasser</subfield>
   <subfield code="4">aut</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">700</subfield>
   <subfield code="E">1-</subfield>
   <subfield code="a">Bona</subfield>
   <subfield code="D">Gian-Luca</subfield>
   <subfield code="d">1957-</subfield>
   <subfield code="0">(DE-588)1089592310</subfield>
   <subfield code="e">Akademischer Betreuer</subfield>
   <subfield code="4">dgs</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">700</subfield>
   <subfield code="E">1-</subfield>
   <subfield code="a">Schröder</subfield>
   <subfield code="D">Thomas</subfield>
   <subfield code="e">Akademischer Betreuer</subfield>
   <subfield code="4">dgs</subfield>
  </datafield>
 </record>
</collection>
