<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim">
 <record>
  <leader>     cam a22     4  4500</leader>
  <controlfield tag="001">530027267</controlfield>
  <controlfield tag="003">CHVBK</controlfield>
  <controlfield tag="005">20201001045639.0</controlfield>
  <controlfield tag="008">150808s2018    xxu           10    eng|d</controlfield>
  <datafield tag="020" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">978-1-5386-5072-1</subfield>
   <subfield code="q">Print-on-demand</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="020" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="z">978-1-5386-5071-4</subfield>
   <subfield code="q">Online</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(OCoLC)1059138288</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(NEBIS)011296997</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="040" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">SzZuIDS NEBIS ETH-BIB</subfield>
   <subfield code="b">ger</subfield>
   <subfield code="e">rda</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="111" ind1="2" ind2=" ">
   <subfield code="a">IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures</subfield>
   <subfield code="n">(31.</subfield>
   <subfield code="d">2018</subfield>
   <subfield code="c">Austin, Tex.)</subfield>
   <subfield code="0">(DE-588)1169681158</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="245" ind1="1" ind2="0">
   <subfield code="a">2018 IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS 2018)</subfield>
   <subfield code="b">Austin, Texas, USA, 19-22 March 2018</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="264" ind1=" " ind2="1">
   <subfield code="a">Piscataway, NJ</subfield>
   <subfield code="b">IEEE</subfield>
   <subfield code="c">[2018]</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="300" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">ix, 217 Seiten</subfield>
   <subfield code="b">Illustrationen</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="336" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">Text</subfield>
   <subfield code="b">txt</subfield>
   <subfield code="2">rdacontent/ger</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="337" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">ohne Hilfsmittel zu benutzen</subfield>
   <subfield code="b">n</subfield>
   <subfield code="2">rdamedia/ger</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="338" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">Band</subfield>
   <subfield code="b">nc</subfield>
   <subfield code="2">rdacarrier/ger</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="500" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">Online siehe IEEE Xplore</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="500" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">Konferenzzählung: &quot;31st ICMTS&quot; - Original-Titelblatt</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">BIPOLARE KOMPLEMENTÄRE MOS SCHALTUNGEN, BICMOS (MIKROELEKTRONIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000042381</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">DEFEKTERKENNUNG + FEHLERERKENNUNG (ELEKTROTECHNIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000049102</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">KOMPLEMENTÄRE METALLOXID-HALBLEITERSCHALTUNGEN, CMOS (MIKROELEKTRONIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000028120</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">MIKROELEKTROMECHANISCHE BAUELEMENTE, MEMS (ELEKTROTECHNIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000048625</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">MIKROELEKTRONIK + INTEGRIERTE SCHALTUNGEN</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000028107</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">TRANSISTOREN/TEGFET, VFET, MODFET, MOSFET, MESFET, SGFET, ISFET, MISFET, HFET, JFET, CIGFET, POSFET (ELEKTRONIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000042993</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="655" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">Konferenzschrift</subfield>
   <subfield code="z">Austin, Tex</subfield>
   <subfield code="y">2018</subfield>
   <subfield code="2">gnd-content</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">MIKROELEKTRONIK + INTEGRIERTE SCHALTUNGEN</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">621.3.049.77</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">TRANSISTOREN/TEGFET, VFET, MODFET, MOSFET, MESFET, SGFET, ISFET, MISFET, HFET, JFET, CIGFET, POSFET (ELEKTRONIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">621.382.323,1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">BIPOLARE KOMPLEMENTÄRE MOS SCHALTUNGEN, BICMOS (MIKROELEKTRONIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">621.3.049.774.2,21</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">KOMPLEMENTÄRE METALLOXID-HALBLEITERSCHALTUNGEN, CMOS (MIKROELEKTRONIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">621.3.049.774.2,2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">MIKROELEKTROMECHANISCHE BAUELEMENTE, MEMS (ELEKTROTECHNIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">621.3.04,2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">DEFEKTERKENNUNG + FEHLERERKENNUNG (ELEKTROTECHNIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">621.3,3.004.64</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">MICROÉLECTRONIQUE + CIRCUITS INTÉGRÉS</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">621.3.049.77</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">MICROELECTRONICS + INTEGRATED CIRCUITS</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">621.3.049.77</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">TRANSISTORS/TEGFET, VFET, MODFET, MOSFET, MESFET, SGFET, ISFET, MISFET, HFET, JFET, CIGFET, POSFET (ELECTRONICS)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">621.382.323,1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">TRANSISTORS/TEGFET, VFET, MODFET, MOSFET, MESFET, SGFET, ISFET, MISFET, HFET, JFET, CIGFET, POSFET (ÉLECTRONIQUE)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">621.382.323,1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">CIRCUITS BIPOLAIRES DE SEMI-CONCUCTEUR COMPLÉMENTAIRE D'OXYDE DE MÉTAL, BICMOS (MICROÉLECTRONICS)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">621.3.049.774.2,21</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">BICMOS, BIPOLAR-COMPLEMENTARY-MOS-CIRCUITS (MICROELECTRONICS)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">621.3.049.774.2,21</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">CIRCUITS DE SEMI-CONCUDCTEUR COMPLÉMENTAIRE D'OXYDE DE MÉTAL, CMOS (MICROÉLECTRONIQUE)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">621.3.049.774.2,2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">COMPLEMENTARY-METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR CIRCUITS, CMOS (MICROELECTRONICS)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">621.3.049.774.2,2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">COMPOSANTS MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUES, MEMS (ÉLECTROTECHNIQUE)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">621.3.04,2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">MICROELECTROMECHANICAL COMPONENTS, MEMS (ELECTRICAL ENGINEERING)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">621.3.04,2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">DEFECT RECOGNITION + FAULT RECOGNITION (ELECTRICAL ENGINEERING)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">621.3,3.004.64</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">DÉPANNAGE + RECHERCHE DE PANNES + DÉPISTAGE DES DÉFAUTS (ÉLECTROTECHNIQUE)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">621.3,3.004.64</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="710" ind1="2" ind2=" ">
   <subfield code="a">Institute of Electrical and Electronics Engineers</subfield>
   <subfield code="0">(DE-588)1692-5</subfield>
   <subfield code="e">Mitwirkender</subfield>
   <subfield code="4">ctb</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="898" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">BK020800</subfield>
   <subfield code="b">XK020000</subfield>
   <subfield code="c">XK020000</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="909" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">E01-OS-ML-2018</subfield>
   <subfield code="2">nebis EO</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="912" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">055</subfield>
   <subfield code="2">E01-20181119</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="949" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="F">E16</subfield>
   <subfield code="b">E16</subfield>
   <subfield code="c">RH</subfield>
   <subfield code="j">RR 27500</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">111</subfield>
   <subfield code="E">2-</subfield>
   <subfield code="a">IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures</subfield>
   <subfield code="n">(31</subfield>
   <subfield code="d">2018</subfield>
   <subfield code="c">Austin, Tex)</subfield>
   <subfield code="0">(DE-588)1169681158</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">710</subfield>
   <subfield code="E">2-</subfield>
   <subfield code="a">Institute of Electrical and Electronics Engineers</subfield>
   <subfield code="0">(DE-588)1692-5</subfield>
   <subfield code="e">Mitwirkender</subfield>
   <subfield code="4">ctb</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="956" ind1="4" ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="C">EAD50</subfield>
   <subfield code="D">EBI01</subfield>
   <subfield code="a">E16</subfield>
   <subfield code="u">https://opac.nebis.ch/objects/pdf03/e16_978-1-5386-5072-1_01.pdf</subfield>
   <subfield code="y">Titelblatt und Inhaltsverzeichnis</subfield>
   <subfield code="x">VIEW</subfield>
   <subfield code="q">pdf</subfield>
  </datafield>
 </record>
</collection>
