cam a22 4 4500 555321444 CHVBK 20201001074653.0 180807s2018 xxu |||| 101 |eng| 019006183 Uk 978-1-5106-1575-5 print 978-1-5106-1576-2 electronic (OCoLC)1064945835 (NEBIS)011352839 UKMGB ger SzZuIDS NEBIS ETH-BIB rda MOEMS and Miniaturized Systems Veranstaltung (17. 2018 San Francisco, Calif.) (DE-588)1177157055 MOEMS and Miniaturized Systems XVII 30-31 January 2018, San Francisco, California, United States Wibool Piyawattanametha, Yong-Hwa Park, Hans Zappe (editors) ; cosponsored by Samsung Advanced Institute of Technology ; published by SPIE Bellingham, Washington SPIE [2018] 1 Band Illustrationen Text txt rdacontent/ger ohne Hilfsmittel zu benutzen n rdamedia/ger Band nc rdacarrier/ger Proceedings of SPIE. 5200- volume 10545 10545 (NEBIS)004705004 159174961 Includes bibliographical references and author index LINSENSYSTEME, OBJEKTIVE, OKULARE (OPTISCHE INSTRUMENTE) ger (ETHUDK)000034842 ethudk MIKROELEKTRONISCHE BAUELEMENTE ger (ETHUDK)000061202 ethudk OPTISCHE INSTRUMENTE (FEINWERKTECHNIK) ger (ETHUDK)000034815 ethudk OPTISCHE SCHALTER + WELLENLEITERSCHALTER (ELEKTRISCHE SCHWINGUNGSTECHNIK) ger (ETHUDK)000028561 ethudk Konferenzschrift San Francisco, Calif 2018 gnd-content u MIKROELEKTRONISCHE BAUELEMENTE ger 621.3.049.77*1 nebis E1 u OPTISCHE SCHALTER + WELLENLEITERSCHALTER (ELEKTRISCHE SCHWINGUNGSTECHNIK) ger 621.372.837 nebis E1 u LINSENSYSTEME, OBJEKTIVE, OKULARE (OPTISCHE INSTRUMENTE) ger 681.7.067 nebis E1 u OPTISCHE INSTRUMENTE (FEINWERKTECHNIK) ger 681.7 nebis E1 u COMPOSANTS MICROÉLECTRONIQUES fre 621.3.049.77*1 nebis E1 u MICROELECTRONIC DEVICES eng 621.3.049.77*1 nebis E1 u OPTICAL SWITCHES + WAVEGUIDE SWITCHES (ELECTRICAL OSCILLATION TECHNOLOGY) eng 621.372.837 nebis E1 u COMMUTATEURS OPTIQUES + COMMUTATEURS OPTIQUES DES GUIDES D'ONDES (TECHNIQUE D'OSCILLATIONS ÉLECTRIQUES) fre 621.372.837 nebis E1 u LENS SYSTEMS, OJECTIVES, OCULARS (OPTICAL INSTRUMENTS) eng 681.7.067 nebis E1 u SYSTÈMES DE LENTILLES, OBJECTIFS, OCULAIRES (INSTRUMENTS D'OPTIQUE) fre 681.7.067 nebis E1 u OPTICAL APPARATUS AND INSTRUMENTS (PRECISION TECHNOLOGY) eng 681.7 nebis E1 u APPAREILS ET INSTRUMENTS D'OPTIQUE (MÉCANIQUE DE PRÉCISION) fre 681.7 nebis E1 Wibool Piyawattanametha Herausgeber edt Park Yong-Hwa Herausgeber edt Zappe Hans P. 1961- (DE-588)143733044 Herausgeber edt SPIE (DE-588)10182148-7 Sponsor spn Herausgebendes Organ isb Samsŏng Chonghap Kisurwŏn (DE-588)1115145495 Sponsor spn BK020800 XK020000 XK020000 144 E01-20190218 050 E01-20190218 NEBIS E01 E01 MG P 713011: 10545 NEBIS 111 2- MOEMS and Miniaturized Systems Veranstaltung (17 2018 San Francisco, Calif) (DE-588)1177157055 NEBIS 490 0- Proceedings of SPIE. 5200- volume 10545 10545 (NEBIS)004705004 159174961 NEBIS 700 1- Wibool Piyawattanametha Herausgeber edt NEBIS 700 1- Park Yong-Hwa Herausgeber edt NEBIS 700 1- Zappe Hans P. 1961- (DE-588)143733044 Herausgeber edt NEBIS 710 2- SPIE (DE-588)10182148-7 Sponsor spn Herausgebendes Organ isb NEBIS 710 2- Samsŏng Chonghap Kisurwŏn (DE-588)1115145495 Sponsor spn NEBIS EAD50 EBI01 E01 https://opac.nebis.ch/objects/pdf03/e01_978-1-5106-1575-5_01.pdf Titelblatt und Inhaltsverzeichnis VIEW pdf SWISSBIB 368780899