Growth, integration, and functional characterization of AlScN thin films for RF MEMS devices

Verfasser / Beitragende:
par Fazel Parsapour
Ort, Verlag, Jahr:
Lausanne : 2019
Beschreibung:
157 Seiten : Illustrationen ; 28 cm
Format:
Buch (Hochschulschrift)
ID: 562013946