Erfassung von Standardgeometrieelementen im Mikrometerbereich: Herausforderungen und Lösungsansätze (Characterization of Standard-Geometry Micro Structures: Chances and Challenges)

Authors / Contributors:
[Jürgen Fleischer, Ivesa Buchholz, Jochen Peters, Benjamin Viering, Gert Goch, Stefan Patzelt, Andreas Tausendfreund, Jan Mehner, Wolfram Dötzel, Alexey Shaporin, Ulrich Neuschaefer-Rube, Uwe Hilpert, Sven Simon, Rainer Tutsch, Christian Herbst, Albert Weckenmann, Jörg Hoffmann, Philipp Krämer]
Place, publisher, year:
2008
Contained in:
tm - Technisches Messen, 75/5/2008(2008-05), 327-338
Format:
Article (online)
ID: 379342634